2019年我國半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約為147億元，2020年我國半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)達(dá)到了176億元，隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，我國半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模有望接近400億元。

量/檢測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體制造重要的質(zhì)量檢查工藝設(shè)備，價(jià)值量占比較高，2019年銷售額在半導(dǎo)體設(shè)備中占比達(dá)到11%，僅次于薄膜沉積、光刻和刻蝕設(shè)備，遠(yuǎn)高于清洗、涂膠顯影、CMP等環(huán)節(jié)。預(yù)計(jì)2023年中國大陸量/檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到326億元，市場(chǎng)需求較為廣闊。

全球范圍內(nèi)來看，KLA在半導(dǎo)體量/檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域一家獨(dú)大，2020年在全球市場(chǎng)份額高達(dá)51%，尤其是在晶圓形貌檢測(cè)、無圖形晶圓檢測(cè)、有圖形晶圓檢測(cè)領(lǐng)域，KLA全球市場(chǎng)份額更是分別高達(dá)85%、78%、72%。中科飛測(cè)、上海精測(cè)、睿勵(lì)科學(xué)、東方晶源等本土廠商雖已經(jīng)實(shí)現(xiàn)一定突破，但量/檢測(cè)設(shè)備仍是前道國產(chǎn)化率最低的環(huán)節(jié)之一。若以批量公開招標(biāo)的華虹無錫和積塔半導(dǎo)體為統(tǒng)計(jì)標(biāo)本，2022年1-10月份2家晶圓廠量/檢測(cè)設(shè)備國產(chǎn)化率僅為8%，遠(yuǎn)低于去膠機(jī)、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等環(huán)節(jié)。展望未來，在美國制裁升級(jí)背景下，KLA在中國大陸市場(chǎng)的業(yè)務(wù)開展受阻，本土晶圓廠加速國產(chǎn)設(shè)備導(dǎo)入，量/檢測(cè)設(shè)備有望迎來國產(chǎn)替代最佳窗口期。

美國對(duì)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制裁升級(jí)，引發(fā)市場(chǎng)恐慌，核心體現(xiàn)在：1）對(duì)128層及以上3DNAND芯片、18nm半間距及以下DRAM內(nèi)存芯片、14nm以下邏輯芯片相關(guān)設(shè)備進(jìn)一步管控?？紤]到本土28nm以下邏輯芯片擴(kuò)產(chǎn)需求較少，市場(chǎng)擔(dān)憂主要聚焦在2024年后存儲(chǔ)擴(kuò)產(chǎn)預(yù)期。2）在沒有獲得美國政府許可情況下，美國國籍公民禁止在中國從事芯片開發(fā)或制造工作，包括美國設(shè)備的售后服務(wù)人員，引發(fā)市場(chǎng)對(duì)于本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)美籍高管&技術(shù)人員擔(dān)憂。

高度壟斷的市場(chǎng)

檢測(cè)設(shè)備貫穿每一步驟的過程工藝控制，全球市場(chǎng)空間超百億美元。如果量檢測(cè)設(shè)備不取得突破，我國半導(dǎo)體設(shè)備仍有被卡脖子之虞。美國KLA（科磊）在量檢測(cè)領(lǐng)域市占率高達(dá) 52%，是國產(chǎn)替代道路上的最大阻力之一。

全球半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備KLA一家獨(dú)大，市場(chǎng)份額50.8％。KLA在全球5大半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)（AMAT、LAM、ASML、TEL）中，表現(xiàn)出了相對(duì)更穩(wěn)定的成長性和更高的盈利能力。它的核心競(jìng)爭(zhēng)力是值得國內(nèi)廠商借鑒的?？评诋a(chǎn)品線貫穿前道工藝過程控制全流程。從產(chǎn)品線來看，公司下游應(yīng)用于晶圓、光罩制造、半導(dǎo)體、封裝、PCB 和 LED 等工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域，產(chǎn)品貫穿前道工藝過程控制全流程，包括Surfscan 無圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、eDR7xxx 電子束晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、eSL10 圖案晶圓檢測(cè)、39xx 系列超分辨率寬光譜等離子圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、29xx 寬光譜等離子圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、Puma 激光掃描圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、Teron 光罩缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、Archer套刻量測(cè)系統(tǒng)等，并在缺陷檢測(cè)領(lǐng)域市占率較高。

首先KLA的技術(shù)創(chuàng)新，50年來公司持續(xù)領(lǐng)跑各種復(fù)雜尖端的量測(cè)技術(shù)，研發(fā)投入占比高達(dá)15％，21年達(dá)到9億美元。其次是全面的產(chǎn)品組合，滿足客戶對(duì)精確度和吞吐量的雙重要求；另外還有強(qiáng)大的服務(wù)體系和供應(yīng)鏈管理：KLA全球裝機(jī)量近6萬臺(tái)，平均使用壽命12年，服務(wù)收入占比1/4左右。深厚的供應(yīng)商關(guān)系確保了供應(yīng)的連續(xù)性和高質(zhì)量，與KLA設(shè)計(jì)和制造業(yè)務(wù)密切協(xié)調(diào)，確保無縫的客戶體驗(yàn)。KLA基于強(qiáng)大的持續(xù)改進(jìn)文化的指標(biāo)管理，用嚴(yán)格的組織和獨(dú)特的系統(tǒng)來管理復(fù)雜的全球供應(yīng)鏈。